이미지를 넘어, 정보를 본다: FE-SEM 콘트라스트와 응용
(Understanding Image Contrast and Applications in FE-SEM)
FE-SEM(Field Emission Scanning Electron Microscope)은 전계방출 전자총을 이용해 나노 단위의 표면 구조를 고해상도로 관찰할 수 있는 분석 장비입니다.
본 세미나에서는 FE-SEM을 단순히 이미지를 얻는 장비로 보는 것을 넘어, 이미지가 형성되는 원리를 이해함으로써 시료의 구조적·물리적 정보를 해석하는 방법을 다룹니다.
전자–시료 상호작용을 기반으로 한 이미지 콘트라스트 메커니즘(SE, BSE)을 설명하고, 이를 실제 연구에 적용한 재료·반도체·소자 분석 사례를 통해 FE-SEM 활용의 폭넓은 가능성을 제시합니다.
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